APMON
「監控粒子的動態變化」詳實記錄粒子數量與大小。
把裂造環境中的粒子堆積風險，用數據化來管理。
APMON探即時監控，紀錄粒子落下發生的高峰時間，進一步比對發生當下的人、事、物行為，找出引發落塵的「程序小「行為」。
這一檢測粒子發生原因，並且抑制粒子發生的過程,有助於降低5μm以上的粒子附著o是歐規標準中的重要檢討項目。
■ 落下粒子之數量,對應時間的關鯀
經由解析落下粒子的大小
來改善生產線潔淨度
APMON可以用圖表呈現，過去特定時段內，機台所觀測到的粒子大小分布方式。15~30μm-般是皮膚或纖維、100μm以上則多半是衣物纖維造成°30μm以下的粒子，雖然有可能被換氣排出，但是從現場的人員進出程序，與活動管制切入，更能快速達成目標清潔度。
在已經檢出50μm以,上的大型粒子的空間裡，首先應進行潔淨流程的重建，後續才能有效回復清潔。
■ 落下粒子的大小與統計示意圖
無塵室中所使用，大型粒子的監控規格
粒子堆積率(Particle Deposition Rate)是指?
APMON不只是即時監控15~1000μm的所有粒子的動態數量，他還能計算出-段特定時間內的粒子堆積率PDR
PDR=粒子數(> Dμm) /面積(1m2) /時間(1h)
PDR能指出長時間堆積粒子的趨勢，相當於每1平方公尺，表面上的粒子濃度變化率。
探用PDR做評估風險的指標，符合IS014644-17對於大型粒子的監控要求。
■ 相對於PDR, PDRL定了義PDR的上限值(Particle Deposition Rate Limits)
藉由監控粒子堆積率，來管制大型粒子
APMON對於PDR參數的監控，可將生產環境中的落下粒子:濃度變化、大小分布，以及覆蓋範圍變化等動態，完全掌握。這資料，將協助定義出關鍵工作區域內的大型粒子「可允許濃度」(個數/面積)，並加以監控後續每當「可允許濃度」發生超標的情形，就可以立即針對相關的「行為小「接觸小、「表面清潔度J等等，進行試驗性的改善，重新降低PDR。
以下是我們對於管控無塵室內的大型粒子，提出的完整建議：
1.使用PartSens評估關鍵位置的表面汙染情形。
2.使用APMON建立無塵室內的行為準則。
■ APMON/PartSens將粒子的夾帶、產生、堆積等過程，全面數據化。
如何詳細描述風險性粒子
- 關鍵粒徑(μm)
- 容許濃度 (粒子數)
- 產品的關鍵表面大小(cm2)
- 關鍵工作區域(m2)
如何設定潔淨度的，上限規格
- PDR (粒子堆積率)上限
- SCP (表面潔淨度)上限
妥善控制人和系統的一舉一動
一般的粒子計數器(air particle counter)都無法監控
50%的>10μm的粒子
90%的>4 0μm的粒子
也因此，PDR成為重要規格
監測原理
雷射全像技術可以實現大面積的監控
藉由雷射光在物體表面繞射，及傅立葉轉換等技術，實現3D成像所得資料，即是五分鐘前的粒子落下數量與粒子大小的累積值。
最短監控時間間隔，可以短至五分鐘。
■ 能執行大面積的監測，APMON的一大優勢
粒子計數器(air particle counter)
只能檢測漂浮在無塵室空氣中的浮游粒子
粒子計數器(air particle counter)
通常是用窄口徑的取樣管，吸入粒子。
實際上，大型粒子不容易進到粒子計數器的探測區，也無法被吸入。
ISO等國際標準，已經要求用PDR(數據化)作為落下粒子的有效管控標準。
APMON-即時粒子沉積監控器
透過在生產區域布建APMON，將可以有效監控15μm大小以上的粒子堆積行為(最短探樣區間：五分鐘)
從此，造成粒子掉落的「時間」「人員」「原因」,都將有跡可循。
■連線示意圖
專業軟體監控/解析數據
■ 判讀資料顯示範例
涵蓋粒子大小：
15~ 30~40~ 50~60、70~80~90~ 100~200~ 300~400~500>600~ 700~800~900、1000μm (最大直徑)
透過活用APMON,將生產環境中的人、事、物，加入實驗性的變因，將可以推導出最高效的潔淨生產程序。
 |
 |
 |
可透過藍芽、或有線網路做遠端監控
| 感測器連接上限 | 最多兩台 |
| 感測器無線連接.上限 | 最多兩台 |
| 電池(充電器) | 有 |
| USB資料輸出(CSV) | 有 |
| 專用收納盒 | 有 |
| 顯示器與周邊. | 另外選購 |
感測器的安裝
| 粒子檢出範圍 | 15 ~ 1000μm |
| 量測區域面積 | 25cm (4.2cm2 X 6) |
| PDR | 99% Confidence interval士6% (長時間) |
| 量測間隔 | 最短五分鐘(有線網路) |
| 重量 | 5.0kg (含電池) |
| 電源需求 | 變壓器輸入: 100v~ 240v |
| 變壓器輸出: 9v直流，550mA | |
| 或安裝鋰電池: 7.2v, 7800mAh (可充電) | |
| 電池個數 | 一個Sensor,附帶兩個 |
| 電池使用期間 | 大約四天，依監控頻率 |
| 網路 | 有線網路或藍芽2.0(依環境>約15~20m) |
| 光源 | 20mA雷射二極體(406nm) |
| 光學原理 | 雷射全像技術 |
| 雷射安全基準 | Class 2M (根據IEC60825-1) |
| 校正 | 一年一次(建議) |
| 建議使用環境 | 溫度10~35度C;相對濕度10-90%;無凝結處 |
玻璃的承載裝置依粒子堆積情形做更換
| 材料 | 樹脂玻璃 |
| 使用期限(大略) | 3個月(依測定環境的清潔度而不同) |
| 包裝 | 在控制環境下，雙重包裝 |
| 更換時機 | 在控制環境下，雙重包裝 |
